PR-PD2BLI

Blanks Mask Particle Detection System PR-PD2BLI

空白掩膜颗粒检测系统

PR-PD2BLI 可实现 0.1μm 以下的微粒检测,并配备多级分类设备和全套通信功能。空白掩膜能够实现对最细微的颗粒进行高通量测量。

事业部: 半导体
产品分类: 计量学
制造商: HORIBA, Ltd.
  • 高灵敏度和高通量
    0.1μm/5.5 分(142mm)
    0.15μm/2.75 分(142mm)
    0.2μm/33 秒(142mm)
  • 多重装载/卸载对应

请与我们联系。

留言咨询

如您有任何疑问,请在此留下详细需求信息,我们将竭诚为您服务。 * 这些字段为必填项。