原子力显微镜

• 自动样品趋近：5mm x5 mm x15 mm；定位分辨率<1µm
• 平板闭环扫描器：100 um x100 um x15 um（+/-10%）
• 扫描器非线性：XY≤0.05%，Z≤0.05%
• 噪声水平：XY≤0.1nm RMS，200Hz带宽，电容传感器“开启”

• XY≤0.02nm RMS，100Hz带宽，电容传感器“关闭”     Z<0.04nm RMS，1000Hz带宽

• 最大样品尺寸：40 mm x50mm×15mm
• 量子探针音叉专用支架
• 集成微型微波近场天线：

• 手动工作台：4 mm x4 mm x4 mm    定位分辨率<1µm

光学

• 共焦光学单元：垂直光子收集和50µm多模光纤输出耦合器
• XYZ闭环压电物镜扫描器:30μm x30μm x15μm
• 平场无限焦正物镜，100X,NA0.7，工作距离：6mm
• 顶视显微镜系统：LED照明器和CMOS摄像头
• 光学二极管激光器（λ=515±5 nm），功率可调：0.01-20.0 mW
• 单光子计数模块
• NV偏压磁铁：安装在物镜上，手动可调（垂直方向）：-2.5至+2.5 mT

微波发生器

• 工作频率带宽2.5-3.5 GHz，10Hz分辨率
• 最大功率>30dBm，功率分辨率为0.1dB
• 增益补偿，用于整个频带内的平坦功率分布
• 4个通用I/O（GPIO）通道，TTL规格
• 1千兆位以太网数据传输连接端口

软件

• 基于Windows的Smartscan SPM模式控制
• 基于LabQ的SNVM 模式控制（NV荧光模式，典型的磁共振谱）
• 荧光自动跟踪程序
• 通过Jupyter Notebook测量脚本能力