PV 系列

Piezo Actuator Valve PV Series
Piezo Actuator Valve PV Series

压电阀

PV 系列压电阀由带有金属隔膜和金属密封圈的压电阀组成。当与压力传感器或流量传感器和比率控制单元(PCU 系列)结合使用时,可以构建压力控制或流量控制系统。

事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.

优点:

  • 全金属结构,超洁净
  • 流量范围广:1 CCM - 50 LM
  • 高温型号可选(PV-1000S/2000S)
  • 外部单元压力控制

PV-1000

 

Flow Range1/5/100/200/500 CCM 1/2/5 LM (Inlet:atmospheric pressure•Outlet:vacuum•N2equiv)
Flow Control Range2 -100% F.S.
Valve Typenormally open / close
Input Signal0 - 5VDC
Responceless than 0.5 sec.
Operating Temperature0 - 50 °C
Operating Diffential PressureMAX. 300 kPa(a)(max,42psi)
Pressure Resistance1MPa
Leak Integrity5×10-12Pa•m3(He)

 

PV-2000

 

Flow Range10/20 LM
Flow Control Range2 -100% F.S.
Valve Typenormally open / close
Input Signal0 - 5VDC
Responceless than 0.5 sec.
Operating Temperature0 - 50 °C
Operating Diffential PressureMAX. 300 kPa(a)(max,42psi)
Pressure Resistance1MPa
Leak Integrity5×10-12Pa•m3(He)

 

外形尺寸

光伏制造过程的过程控制与现场测量
光伏制造过程的过程控制与现场测量

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