SEC-E 系列

Mass Flow Controller SEC-E Series

质量流量控制器

这种通用质量流量控制器具有可靠的热传感器和电磁阀,可实现高水平的气流控制。作为一种多功能组件,SEC-E 系列质量流量控制器可用于各种行业。

通过质量流量控制器的气流可控制在不同的流量范围内:10 SCCM 至 200 SLM。

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事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 配备可靠的热传感器和电磁阀
  • 流量控制范围广:10 SCCM 至 200 SLM (N2)
  • 应用广泛
  • 可集成至各种制造系统,包括:液晶显示器、光伏电池、功率半导体、镀膜
    • 一般工业:燃烧器气体控制;大气气体控制;混合气体生产;换气量测量
    • 研发:各种气体传感器和燃烧室性能评估设备;生物技术相关评价
    • 实验室:用于各种实验、气体取样的气流控制器
用于实验室研究与测试的气体质量流量控制器
用于实验室研究与测试的气体质量流量控制器
气体质量流量控制与测量和对 PM2.5 参考值的测量
气体质量流量控制与测量和对 PM2.5 参考值的测量

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