SEC-Z700X 系列

压力补偿质量流量控制器

SEC-Z700X 系列配备了可靠的热传感器和压力补偿功能，可实现稳定的流量控制。集成压力测量降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。

压力补偿
新功能简化了供气系统。典型的多腔室气体管线具有管线调节器、压力传感器和过滤器，以避免由压力波动引起的质量流量控制器串扰现象。SEC-Z700X 系列可以不受上流和下流压力的影响，提供稳定的流量控制。提供流量输出、温度和压力读数。

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