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椭圆偏振光谱仪表征掺杂和未掺杂晶体金刚石结构

Characterization of diamond layers by SE: crystalline undoped diamond layers on silicon substrate.

椭偏仪实际测试值为Is和Ic随波长的变化,波长范围为190-2100nm(0.6-6.5eV)。

金刚石以其硬度而闻名,常被用于工业切割和抛光工具。此外,金刚石还具有其它显著特性,如光学透明度、化学稳定性、导热性和电导率。这些特性可以通过将杂质引入金刚石晶格来调控。由于这些特性,金刚石被广泛应用于各个技术领域,在医学上可以作为光探测器,在生物应用中可以开发为半导体界面植入物。此外钻石晶格中的一些杂质可以作为色心发光,金刚石光致发光纳米粒子还被用作生物成像的标记物和纳米弱磁场的探测器。

本文成功的利用椭圆偏振光谱仪表征了掺杂和未掺杂的金刚石层的厚度和光学性质。这些信息对于优化金刚石层的效率很重要。

 

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