用于卷筒涂布机和辊对辊的在线椭偏仪

UVISEL In-Line Spectroscopic Ellipsometer

UVISEL相位调制型光谱椭偏仪是一款可在线测量薄膜厚度和光学特性的设备,可为客户听过定制化交钥匙工程。它的测试速度快,50ms即可获得数据,可有力的监控整个膜的均匀性。

UVISEL的激发和收集头设计非常容易耦合到辊对辊系统中,同时软件具有先进的通信能力满足辊对辊生产。

软件便于操作人员控制。按钮操作启动流程,提供在线的薄膜厚度和光学特性信息以及可追溯的结果。通过使用UVISEL,保证了高生产率和低停机时间。开发的专属算法确保在停电时也可得到可靠的数据。

针对使用辊对辊系统的柔性太阳能电池、柔性显示器和照明以及柔性超高屏障的苛刻需求,UVISEL在线光谱椭偏仪保证了优越的薄膜质量控制。

事业部: 科学仪器
产品分类: 椭圆偏振光谱仪
制造商: HORIBA France SAS
  • 超快速测试,可达50ms
  • 用户友好
  • 可靠的数据
  • 集成简单,多辊对辊加工能力

在线监测薄膜厚度和光学参数(n,k)

  • 基底:PET、PEN、PI、PC、PA、TAC…
  • 薄膜材料:
    • 金属薄膜:Ag、Al、Cr、Cu
    • 透明电极:ITO、AZO、i:ZnO
    • 聚合物、有机LED薄膜
    • 介质材料:Al2O3, SiN, SiO2, Ta2O2, TiO2, Nb2O5

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