光伏制造过程的过程控制与现场测量
外形尺寸
优点:
- 消除大流量气路切换引起的串扰影响
- 快速响应：0.5 秒内
- 灵活的设计：调节器可以安装在任何位置，由于使用电信号进行控制，适用于各种气体供应系统
- 入口控制型（-B 型）和出口控制型产品系列
- 在表压型或绝对压力型之间进行选择
- 符合 RoHS 标准（UR-Z704 系列）
- 超洁净：全金属结构（M 型）
