PP-TOFMS技术简介
HORIBA科学仪器事业部开发的新型等离子体分析飞行时间质谱仪 (PP-TOFMS)可分析固体材料中化学成分随深度的分布，仪器由辉光放电等离子体源和超快飞行时间质谱仪耦合而成，其中辉光源用于剥蚀和离子化样品。
高离子密度的辉光放电等离子体溅射样品的速率非常快，并且样品分析过程中无需超高真空，极大地缩短预分析时间。通常一个亚微米厚的薄膜仅需几分钟即可获得分析结果。
PP-TOFMS采用的射频激发源适用于任何类型的材料，可以测试导体、非导体（如厚玻璃基体上的薄膜）；包含无机材料以及混合材料。对柔性衬底表面的镀层通过简单的样品预处理后，同样也可采用PP-TOFMS进行深度剖析。
PP-TOFMS是融合了质谱与等离子体源的优势后形成的高灵敏度分析技术，在纳米级深度分辨率下信号的动态范围可达到106，在深度剖析或基体分析时灵敏度可达到亚ppm级。分析过程中样品的剥蚀溅射与离子化发生在辉光放电腔的不同位置，空间上的相互独立可使基体效应忽略不计，并且通过内部简单的校准即可获得半定量结果。
飞行时间质谱仪的优点是能够记录完整连续的质谱数据，PP-TOFMS每33µs即可获得元素周期表中所有元素的质谱，任何元素都可以根据剥蚀时间/深度进行监控，意味着可以检测到任何元素随深度的变化，包括难以提前预估的污染元素信息。
此外可以检测所有的同位素，这对于同位素标记研究如重元素干扰、氧化、扩散机理等领域很有帮助。
S. Torrengo和她的同事们在Spectrachimica Acta Part B发表了一篇题为《Quantitative depth-profile analysis of transition metal nitride materials with combined grazing-incidence X-ray fluorescence and X-ray reflectometry analysis》的文章，其中建立了一种基于标准样品监控TiWN薄膜化学成分变化的方法，参考标样比无标样方法更容易在实验室和工厂中实现，而其中使用到的PP-TOFMS具有全质谱覆盖、灵敏度均匀等优点，能够在无污染和无层间扩散下验证标准样品，发现了成分梯度变化，定义了合理的启动模型。
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