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等离子体分析飞行时间质谱仪(PP-TOFMS)

深度剖析PP-TOFMS

HORIBA科学仪器事业部开发的新型等离子体分析飞行时间质谱仪 (PP-TOFMS)可分析固体材料中化学成分随深度的分布,仪器由辉光放电等离子体源和超快飞行时间质谱仪耦合而成,其中辉光源用于剥蚀和离子化样品。

高通量和通用的深度剖析工具

高离子密度的辉光放电等离子体溅射样品的速率非常快,并且样品分析过程中无需超高真空,极大地缩短预分析时间。通常一个亚微米厚的薄膜仅需几分钟即可获得分析结果。

PP-TOFMS采用的射频激发源适用于任何类型的材料,可以测试导体、非导体(如厚玻璃基体上的薄膜);包含无机材料以及混合材料。对柔性衬底表面的镀层通过简单的样品预处理后,同样也可采用PP-TOFMS进行深度剖析。

高动态范围

PP-TOFMS是融合了质谱与等离子体源的优势后形成的高灵敏度分析技术,在纳米级深度分辨率下信号的动态范围可达到106,在深度剖析或基体分析时灵敏度可达到亚ppm级。分析过程中样品的剥蚀溅射与离子化发生在辉光放电腔的不同位置,空间上的相互独立可使基体效应忽略不计,并且通过内部简单的校准即可获得半定量结果。

全质谱覆盖

飞行时间质谱仪的优点是能够记录完整连续的质谱数据,PP-TOFMS每33µs即可获得元素周期表中所有元素的质谱,任何元素都可以根据剥蚀时间/深度进行监控,意味着可以检测到任何元素随深度的变化,包括难以提前预估的污染元素信息。

此外可以检测所有的同位素,这对于同位素标记研究如重元素干扰、氧化、扩散机理等领域很有帮助。

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