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Fluid Controller and Module

HORIBA has a diverse range of products to cater for your fluid measurement and control requirements.

In a variety of manufacturing processes and research laboratories we offer precise measurement and reliable control of gas and liquids.  HORIBA is the recognised leader of high performance mass flow meters, mass flow controllers, automatic pressure controllers and liquid vaporization systems used throughout the cutting edge semiconductor manufacturing industry.

D700MG
D700MG

高响应压力非敏感质量流量器

D700WR
D700WR

宽范围压敏质量流量计

压差式质量流量控制器 D500
压差式质量流量控制器 D500

压差式质量流量控制器

SEC-Z500X
SEC-Z500X

多量程/多气体数字质量流量控制器

SEC-Z700S 系列
SEC-Z700S 系列

新型压力补偿质量流量控制器

SEC-N100 系列
SEC-N100 系列

数字式质量流量控制器

SEC-E 系列
SEC-E 系列

质量流量控制器

SEC-8000 F/D/E 系列
SEC-8000 F/D/E 系列

高温数字式质量流量控制器

SEC-400 系列
SEC-400 系列

质量流量控制器

UR-Z700 系列
UR-Z700 系列

数字式自动压力调节器

FS-3000
FS-3000

热式气体分流器

EC-5000 系列
EC-5000 系列

排气压力控制器

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