为了确认光栅的可行性,请提供如下的光栅规格:
• 基材
• 基板尺寸
• 有用区域
• 基材形状(平面、球形、……)
• 基材 RMS 显微粗糙度 (nm)
• 基材 RMS 面型误差(μrad 或 arcsec)
• 刻线密度:等线距或 VLS
如果 VLS,N(x) =N0*(1+2*b2x+3*b3x2+4*b4x3+…)
Where :
N0 (mm-1) =
b2 (mm-1) =
b3 (mm-2) =
• 刻槽形状
• 能量范围
• Cff 系数或入射角
• 镀膜