测量技术
冷却测量方法
该系列液体质量流量控制器中的流量传感器由与毛细管接触的电子冷却元件（珀尔帖元件）以及几个温度检测元件组成。当液体流动时，传感器检测对应流量的温升（ΔT），并以流量显示。与热交换不同，这种冷却方法能够测量低沸点液体的流量。此外，该方法还能防止由于二次排放（汽化）的影响而产生的干扰问题，使精确的流量测量成为可能。
结构/工作原理
LV-F 和 LF-F 系列质量流量计采用相同的测量原理。LV-F 系列还配备一个压电阀和一个内部比较控制回路。对流量设定信号和流量输出信号进行比较，并自动控制阀门孔径，使两个信号匹配以控制液体。由于采用了反馈控制系统，不会因外部因素而导致流量变化，因此确保了稳定和精确的控制。
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Control Unit
Conversion Adapters
Dedicated power sources
Display Unit
Monitor Unit
Setting Units
排气压力控制器
基于光发射光谱和 MWL 干涉测量法的工艺终点/反应腔健康监测
光发射光谱蚀刻终点监测仪
用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪
大流量液体源汽化控制系统
数字式液体质量流量计/控制器
紧凑型加热汽化
自动供液系统
POCl3 自动供液系统
混合注入系统液体汽化器
混合注入系统液体汽化器
压电阀
高温数字式质量流量控制器
数字式质量流量控制器
多量程/多气体数字质量流量控制器
数字式自动压力调节器
直接液体注入系统
电容式压力计
定容取样
高响应压力非敏感质量流量器
Best Performance Pressure Insensitive Mass Flow Module
宽范围压敏质量流量计
紧凑型质量流量控制器
超声波尾气流量计
热式气体分流器
Hydrogen Fuel Flow Meter
大流量液体源汽化控制系统
数字式液体质量流量计/控制器
紧凑型加热汽化
自动供液系统
POCl3 自动供液系统
混合注入系统液体汽化器
混合注入系统液体汽化器
皮托管流量计
双路皮托管流量计
质量流量控制器
高温数字式质量流量控制器
质量流量控制器
数字式质量流量控制器
多量程/多气体数字质量流量控制器
新型压力补偿质量流量控制器
压力补偿质量流量控制器
直接液体注入系统
压差式质量流量控制器
高响应压力非敏感质量流量器
Best Performance Pressure Insensitive Mass Flow Module
宽范围压敏质量流量计
热式气体分流器
数字式液体质量流量计/控制器
质量流量控制器
高温数字式质量流量控制器
质量流量控制器
数字式质量流量控制器
多量程/多气体数字质量流量控制器
新型压力补偿质量流量控制器
压力补偿质量流量控制器
