LF-F/LV-F 系列

Digital Liquid Mass Flow Meters / Controllers LF-F/LV-F series
Digital Liquid Mass Flow Meters Controllers LV-F series

数字式液体质量流量计/控制器

LF-F 和 LV-F 系列数字式液体质量流量控制器采用珀尔帖元件冷却液体,而非更常见的热交换方法。该技术消除了低沸点化学物质沸腾的风险,从而实现更安全的化学控制。

事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 提供微升至超低流量控制
  • 实现低沸点和高粘度液体材料的精确流量控制
  • 超洁净设计


测量技术

冷却测量方法
该系列液体质量流量控制器中的流量传感器由与毛细管接触的电子冷却元件(珀尔帖元件)以及几个温度检测元件组成。当液体流动时,传感器检测对应流量的温升(ΔT),并以流量显示。与热交换不同,这种冷却方法能够测量低沸点液体的流量。此外,该方法还能防止由于二次排放(汽化)的影响而产生的干扰问题,使精确的流量测量成为可能。

结构/工作原理
LV-F 和 LF-F 系列质量流量计采用相同的测量原理。LV-F 系列还配备一个压电阀和一个内部比较控制回路。对流量设定信号和流量输出信号进行比较,并自动控制阀门孔径,使两个信号匹配以控制液体。由于采用了反馈控制系统,不会因外部因素而导致流量变化,因此确保了稳定和精确的控制。

光伏制造过程的过程控制与现场测量
光伏制造过程的过程控制与现场测量
食品和饮料生产中的灭菌过程
食品和饮料生产中的灭菌过程

留言咨询

如您有任何疑问,请在此留下详细需求信息,我们将竭诚为您服务。 * 这些字段为必填项。

Related products

EC-5000 系列
EC-5000 系列

排气压力控制器

EV 2.0 系列
EV 2.0 系列

基于光发射光谱和 MWL 干涉测量法的工艺终点/反应腔健康监测

EV-140C
EV-140C

光发射光谱蚀刻终点监测仪

IR-400
IR-400

用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪

LE 系列
LE 系列

大流量液体源汽化控制系统

LF-F/LV-F 系列
LF-F/LV-F 系列

数字式液体质量流量计/控制器

LSC 系列
LSC 系列

紧凑型加热汽化

LU 系列
LU 系列

自动供液系统

LU-4000 系列
LU-4000 系列

POCl3 自动供液系统

MI-1000/MV-1000
MI-1000/MV-1000

混合注入系统液体汽化器

MV-2000 系列
MV-2000 系列

混合注入系统液体汽化器

PV 系列
PV 系列

压电阀

SEC-8000 F/D/E 系列
SEC-8000 F/D/E 系列

高温数字式质量流量控制器

SEC-N100 系列
SEC-N100 系列

数字式质量流量控制器

SEC-Z500X
SEC-Z500X

多量程/多气体数字质量流量控制器

UR-Z700 系列
UR-Z700 系列

数字式自动压力调节器

VC 系列
VC 系列

直接液体注入系统

VG-200S
VG-200S

电容式压力计

CVS-ONE
CVS-ONE

定容取样

D700MG
D700MG

高响应压力非敏感质量流量器

D700T
D700T

Best Performance Pressure Insensitive Mass Flow Module

D700WR
D700WR

宽范围压敏质量流量计

DZ-100
DZ-100

紧凑型质量流量控制器

EXFM-ONE
EXFM-ONE

超声波尾气流量计

FS-3000
FS-3000

热式气体分流器

HyFQ-2000 Series
HyFQ-2000 Series

Hydrogen Fuel Flow Meter

LE 系列
LE 系列

大流量液体源汽化控制系统

LF-F/LV-F 系列
LF-F/LV-F 系列

数字式液体质量流量计/控制器

LSC 系列
LSC 系列

紧凑型加热汽化

LU 系列
LU 系列

自动供液系统

LU-4000 系列
LU-4000 系列

POCl3 自动供液系统

MI-1000/MV-1000
MI-1000/MV-1000

混合注入系统液体汽化器

MV-2000 系列
MV-2000 系列

混合注入系统液体汽化器

PTFM-1000V2
PTFM-1000V2

皮托管流量计

PTFM-ONE-DT
PTFM-ONE-DT

双路皮托管流量计

SEC-400 系列
SEC-400 系列

质量流量控制器

SEC-8000 F/D/E 系列
SEC-8000 F/D/E 系列

高温数字式质量流量控制器

SEC-E 系列
SEC-E 系列

质量流量控制器

SEC-N100 系列
SEC-N100 系列

数字式质量流量控制器

SEC-Z500X
SEC-Z500X

多量程/多气体数字质量流量控制器

SEC-Z700S 系列
SEC-Z700S 系列

新型压力补偿质量流量控制器

SEC-Z700X 系列
SEC-Z700X 系列

压力补偿质量流量控制器

VC 系列
VC 系列

直接液体注入系统

压差式质量流量控制器 D500
压差式质量流量控制器 D500

压差式质量流量控制器

D700MG
D700MG

高响应压力非敏感质量流量器

D700T
D700T

Best Performance Pressure Insensitive Mass Flow Module

D700WR
D700WR

宽范围压敏质量流量计

FS-3000
FS-3000

热式气体分流器

LF-F/LV-F 系列
LF-F/LV-F 系列

数字式液体质量流量计/控制器

SEC-400 系列
SEC-400 系列

质量流量控制器

SEC-8000 F/D/E 系列
SEC-8000 F/D/E 系列

高温数字式质量流量控制器

SEC-E 系列
SEC-E 系列

质量流量控制器

SEC-N100 系列
SEC-N100 系列

数字式质量流量控制器

SEC-Z500X
SEC-Z500X

多量程/多气体数字质量流量控制器

SEC-Z700S 系列
SEC-Z700S 系列

新型压力补偿质量流量控制器

SEC-Z700X 系列
SEC-Z700X 系列

压力补偿质量流量控制器

Corporate