LF-F/LV-F 系列

Digital Liquid Mass Flow Meters / Controllers LF-F/LV-F series
Digital Liquid Mass Flow Meters Controllers LV-F series

数字式液体质量流量计/控制器

LF-F 和 LV-F 系列数字式液体质量流量控制器采用珀尔帖元件冷却液体,而非更常见的热交换方法。该技术消除了低沸点化学物质沸腾的风险,从而实现更安全的化学控制。

事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 提供微升至超低流量控制
  • 实现低沸点和高粘度液体材料的精确流量控制
  • 超洁净设计


测量技术

冷却测量方法
该系列液体质量流量控制器中的流量传感器由与毛细管接触的电子冷却元件(珀尔帖元件)以及几个温度检测元件组成。当液体流动时,传感器检测对应流量的温升(ΔT),并以流量显示。与热交换不同,这种冷却方法能够测量低沸点液体的流量。此外,该方法还能防止由于二次排放(汽化)的影响而产生的干扰问题,使精确的流量测量成为可能。

结构/工作原理
LV-F 和 LF-F 系列质量流量计采用相同的测量原理。LV-F 系列还配备一个压电阀和一个内部比较控制回路。对流量设定信号和流量输出信号进行比较,并自动控制阀门孔径,使两个信号匹配以控制液体。由于采用了反馈控制系统,不会因外部因素而导致流量变化,因此确保了稳定和精确的控制。

光伏制造过程的过程控制与现场测量
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