LU-4000 系列

POCl3 Auto Refill System FDM Series

POCl3 自动供液系统

HORIBA 屡获殊荣的液体输送系统(LU-4000 系列)通过开发一种系统,将 20 升 ETFE 内衬不锈钢罐中的散装液体 POCl3 自动输送到多个固定塑料鼓泡装置,改变了 POCl3 的扩散过程。

LU-4000 系列和 VM 系列用于 n 型扩散层作为制造晶体硅基太阳能电池的掺杂剂。
该系统还可用于 BBr3 的扩散制程,提高制程稳定性,增加正常运行时间,减少物流和人工成本,提高安全性。

事业部: 半导体
产品分类: 流体控制系统
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  1. 提高产能
    VM 系列(蒸气输送模块)无需使用传统的石英鼓泡器更换,最大限度地减少了停机时间,有效提高产能
  2. 降低运营成本
    LU-4000 系列可减少 POCl3 消耗:每公斤价格降低 30%
    连续生产确保正常运行时间超过 99.8%
    减少 POCl3 浪费
    工艺流程无需暴露于周围环境,确保更长使用寿命和更低维护成本
    采用 20L 液罐输送,降低了物流、储存和搬运成本
    更少的 POCl3 更换和空瓶回收降低了人工成本
  3. 提高工艺稳定性
    VM 系列将液位保持在“高”位,相比传统石英鼓泡器吸液率更稳定
    由于鼓泡器的持续注入,液位将不会受到影响
    无需更换鼓泡器,避免操作失误
    不受环境温度波动的影响薄层电阻相较传统鼓泡器更稳定,提高了可重复性和再现性
  4. 提升安全性
    无石英材料。VM 系列采用 PFA 材料制造,比石英材料更坚固,且无需搬运、更换或填充石英起泡器。由于无需定期更换部件,减少人了工操作失误。
    POCl3 通过 20L ETFE 内衬的不锈钢容器输送至 PFA 管路。
    坚固、防漏的鼓泡器外壳带有氮气保护层,并连接至设备排气端
    集成液体泄漏和气体泄漏检测
    管路吹扫与自动泄露检测
  5. 提高可靠性
    POCl3 是一种亲水性强、可产生磷酸导致腐蚀或结晶的液体,常规的鼓泡器需要定期更换,导致与空气接触的可能性增加HORIBA POCl3 自动供液系统无需更换鼓泡器,有效降低了 POCl3 管路与空气接触的可能性。

Liquids supported

POCl3, BBr3. Liquids compatible with pfa and ptfe
Process lines4 x independent Coaxial, N2 purged process lines to deliver liquid to 4 x furnaces
Liquid line connectionsAll liquid line connections are housed inside cabinets that are connected to facility exhaust
Delivery distance limitTotal length of supply/return line 50m
Differential pressure sensor with alarmCheck for cabinet or Coaxial tubing leaks
Leak detectionIntegrated liquid and gas leak detection
Over pressure protectionSafety burst disk
Supply methodPressurise bulk canister
Bulk canisterMaximum 38 L (see diagram for dimensions)
Receiving systemMaximum 20 HORIBA VM Advanced Bubblers
Wetted partsPFA and PTFE
Pressure Measurement points

1.   Operation line 1 MPa(G) F.S.

2.   Purge line 500 kPa(G) F.S.

3.   Bulk canister and pressurised leak check of wetted parts 300 kPa(G) F.S.

4.   Vacuum leak test and purge check function 100 kPa(A) F.S.
Liquid removal methodAutomatic N2 and vacuum cycle purge with automatic purge check function
CommunicationsEtherNET communication between refill system and HORIBA Advanced Bubbler VM
Bulk canister scale0 to 100 kg (gross)
Noise<60 dB (A) at 1 m
Working environment15˚C to 35˚C ≤ 85% relative humidity
Width1200 mm
Depth605 mm
Height (including light tower)2635 mm
Weight375 kg
Safety standardsCE, designed to SEMI S2
Power requirements100~240 VAC 50/60 Hz 6 A ~ 12 A

 

外形尺寸

POCl3 Auto Refill System FDM Series

POCl3 Auto Refill System FDM Series

*subject to change

Automatic Refill System (LU-4000) Features:

  • Robust, sealed and exhausted housing
  • Cabinet differential pressure with alarm
  • Integrated gas leak detection
  • Touch panel user interface with remote access for troubleshooting
  • Lockable doors and slide out canister retainer with safety interlock
  • Canister scale
  • Integrated safety reservoir with liquid leak detection

 

Bubbler (VM) Features:

Liquid temperature is measured in the VM. The flow algorithm calculates the required carrier gas flow through the bubbler based on the measurement of temperature, pressure and vapor pressure.

  • Auto refill liquid shut off valve
  • Robust N2-rich sealed housing
  • Vision Panel
  • Lockable door
  • Fixed PFA bubbler vessel
  • Integrated high performance single board computer
  • Integrated safety reservoir with liquid leak detection
光伏制造过程的过程控制与现场测量
光伏制造过程的过程控制与现场测量
用于实验室研究测试气体生成
用于实验室研究测试气体生成

留言咨询

如您有任何疑问,请在此留下详细需求信息,我们将竭诚为您服务。 * 这些字段为必填项。

Related products

EC-5000 系列
More EC-5000 系列

排气压力控制器

EV 2.0 系列
More EV 2.0 系列

基于光发射光谱和 MWL 干涉测量法的工艺终点/反应腔健康监测

EV-140C
More EV-140C

光发射光谱蚀刻终点监测仪

GA-370
More GA-370

痕量气体分析仪

LE 系列
More LE 系列

大流量液体源汽化控制系统

LF-F/LV-F 系列
More LF-F/LV-F 系列

数字式液体质量流量计/控制器

LSC 系列
More LSC 系列

紧凑型加热汽化

LU 系列
More LU 系列

自动供液系统

LU-4000 系列
More LU-4000 系列

POCl3 自动供液系统

MI-1000/MV-1000
More MI-1000/MV-1000

混合注入系统液体汽化器

MU-2200
More MU-2200

MU 系列混合气体发生器

MV-2000 系列
More MV-2000 系列

混合注入系统液体汽化器

SEC-8000 F/D/E 系列
More SEC-8000 F/D/E 系列

高温数字式质量流量控制器

SEC-N100 系列
More SEC-N100 系列

数字式质量流量控制器

SEC-Z500X
More SEC-Z500X

多量程/多气体数字质量流量控制器

TU 系列
More TU 系列

试验气体生成系统

UR-Z700 系列
More UR-Z700 系列

数字式自动压力调节器

VC 系列
More VC 系列

直接液体注入系统

CVS-ONE
More CVS-ONE

定容取样

D700MG
More D700MG

High Speed & Precision Pressure Insensitive Mass Flow Module

D700WR
More D700WR

Wide Range Pressure Insensitive Mass Flow Module

DZ-100
More DZ-100

紧凑型质量流量控制器

EXFM-ONE
More EXFM-ONE

超声波尾气流量计

FS-3000
More FS-3000

热式气体分流器

LE 系列
More LE 系列

大流量液体源汽化控制系统

LF-F/LV-F 系列
More LF-F/LV-F 系列

数字式液体质量流量计/控制器

LSC 系列
More LSC 系列

紧凑型加热汽化

LU 系列
More LU 系列

自动供液系统

LU-4000 系列
More LU-4000 系列

POCl3 自动供液系统

MI-1000/MV-1000
More MI-1000/MV-1000

混合注入系统液体汽化器

MV-2000 系列
More MV-2000 系列

混合注入系统液体汽化器

PTFM-1000V2
More PTFM-1000V2

皮托管流量计

PTFM-ONE-DT
More PTFM-ONE-DT

双路皮托管流量计

SEC-400 系列
More SEC-400 系列

质量流量控制器

SEC-8000 F/D/E 系列
More SEC-8000 F/D/E 系列

高温数字式质量流量控制器

SEC-E 系列
More SEC-E 系列

质量流量控制器

SEC-N100 系列
More SEC-N100 系列

数字式质量流量控制器

SEC-Z500X
More SEC-Z500X

多量程/多气体数字质量流量控制器

SEC-Z700S 系列
More SEC-Z700S 系列

新型压力补偿质量流量控制器

SEC-Z700X 系列
More SEC-Z700X 系列

压力补偿质量流量控制器

VC 系列
More VC 系列

直接液体注入系统

XF-100 系列
More XF-100 系列

数字式液体质量流量计

压差式质量流量控制器 D500
More 压差式质量流量控制器 D500

压差式质量流量控制器

Corporate