MI-1000/MV-1000

Mixed Injection System Liquid Vaporizers MV-1000
Mixed Injection System Liquid Vaporizers MI-1000

混合注入系统液体汽化器

该混合注入系统可通过使用气液混合物汽化方法快速汽化各种液体源。该方法可实现高沸点液体的稳定汽化。

事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 气液混合物汽化方法确保稳定地汽化高沸点液体
  • 紧凑设计便于集成
  • 汽化效率高于传统汽化方法
  • 产生更大流量
  • 汽化温度降低

 

测量技术

注入方式
以下是汽化液体源并将其输送到处理室的主要步骤。
1. 测量液体源的流量,并通过阀门反馈和控制液体量。
2. 液体瞬间汽化。
3. 气体被释放,防止凝结成液态。

由于载气在注入器内部喷嘴前的压力较高,因此可以获得有效加热。液体源和加热的载气在喷嘴前的气液混合区混合在一起,当混合物通过喷嘴时,压力降低,混合物进而汽化。

光伏制造过程的过程控制与现场测量
光伏制造过程的过程控制与现场测量
用于实验室研究与测试的液体源蒸发与供应
用于实验室研究与测试的液体源蒸发与供应

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