MICROPOLE 系统

Compact Process Gas Monitor MICROPOLE System

紧凑型工艺气体监测仪

MICROPOLE 系统是业内紧凑的完整质谱仪系统之一。紧凑的尺寸通过四极滤质器微型阵列的特别设计实现。该阵列提供了与传统质谱仪相似或更高的灵敏度,但体积更小。该气体监测系统能在比传统系统更高的压力下运行,因此减少了对额外真空泵的需求。

传感器由工厂预调,并根据传输标准进行校准,用户可直接互换,而无需技术人员进行校准。

事业部: 半导体
产品分类: 干法制程控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 轻型紧凑尺寸
    尺寸仅为传统残余气体分析仪的 1/20,易于集成到任何系统中
  • 高性能
    9 个四极杆的微型阵列体积仅为传统四极杆体积的一小部分,可提供出色的灵敏度

  • 高压操作
    可在高达 0.9Pa(7mTorr,9×10-3mbar)的压力下使用,从而减少或消除了许多应用中昂贵的真空泵

  • 校准中可互换的传感头
    传感头在装运前经过预调和预校准,允许用户在现场进行传感器更改,而无需微调或使用专业技术

  • 网络传感器
    使用 RS-485 可让一台电脑监控高达 8 个传感器。这些系统也可以通过以太网进行远程监控

  • 用户友好软件
    Micropole Scanner™ 软件允许用户以各种模式监测气体分压,例如趋势图、模拟图、泄漏模式、条形图、3D 图等

  • 测仪控制器
    选配的监测仪控制器可用于直接安装在光谱发生器上的真空室,用户无需电脑即可监控真空室

测量原理

体监测仪由离子源、质谱仪和测量部分组成。当残余气体与高温灯丝释放的热电子碰撞时,残余气体被电离,由此产生的离子加速并汇聚到质谱仪上。在质谱仪中,直流和交流电压被施加到四个圆柱形电极(四极杆)上,通过质量来分离离子。分离的离子被法拉第杯检测为电流。离子电流与残余气体的质量(分压)成正比。

Measurement principle

Measurement principle

 

MICROPOLETM 分析仪

MICROPOLETM 系统的特点之处就在于其采用 MICROPOLETM 分析仪(MPA);九个四极杆的阵列充分利用超精密光学蚀刻加工技术和玻璃/金属接合技术。MPA 的研发成功制造了残余气体分析仪,同时提供与传统大型质谱仪相同或更好的灵敏度。该分析仪是一个插件。它配有一个已针对分压进行校准的传感器单元,并提供总压和分压测量。

MICROPOLETM Analyzer

            

External Dimension of Compact Process Gas Monitor MICROPOLE System

光伏制造过程的过程控制与现场测量
光伏制造过程的过程控制与现场测量
药品和药品制造中冷冻干燥干燥设备的真空监测
药品和药品制造中冷冻干燥干燥设备的真空监测
容器和包装中的气体和水监测
容器和包装中的气体和水监测
功能玻璃干法镀膜过程中的等离子体发射控制与过程气体监测
功能玻璃干法镀膜过程中的等离子体发射控制与过程气体监测
HORIBA 是专业气体和液体质量流量控制器制造商,拥有一系列模拟、数字和高温质量流量控制器以及使用点液体源汽化控制和输送系统。

留言咨询

如您有任何疑问,请在此留下详细需求信息,我们将竭诚为您服务。 * 这些字段为必填项。

Related products

More EC-5000 系列

排气压力控制器

More EV 2.0 系列

基于光发射光谱和 MWL 干涉测量法的工艺终点/反应腔健康监测

More EV-140C

光发射光谱蚀刻终点监测仪

More LE 系列

大流量液体源汽化控制系统

More LF-F/LV-F 系列

数字式液体质量流量计/控制器

More LSC 系列

紧凑型加热汽化

More LU 系列

自动供液系统

More LU-4000 系列

POCl3 自动供液系统

More MI-1000/MV-1000

混合注入系统液体汽化器

More MICROPOLE 系统

紧凑型工艺气体监测仪

More MV-2000 系列

混合注入系统液体汽化器

More RU-1000

等离子体发射控制器

More SEC-8000 F/D/E 系列

高温数字式质量流量控制器

More SEC-N100 系列

数字式质量流量控制器

More SEC-Z500X

多量程/多气体数字质量流量控制器

More UR-Z700 系列

数字式自动压力调节器

More VC 系列

直接液体注入系统

More VG 系列

电容压力计

More MICROPOLE 系统

紧凑型工艺气体监测仪

More MICROPOLE 系统

紧凑型工艺气体监测仪

Corporate