PR-PD3 BLI

PR-PD3 BLI

空白掩膜表面颗粒

PR-PD3BLI高通量检测 0.1μm 以下的空白掩膜表面颗粒,可检测多种衬底材料的空白掩膜。

事业部: 半导体
产品分类: 计量学
制造商: HORIBA, Ltd.
  • 高达 0.1μm (100nm) 的高灵敏度
  • 可变的灵敏度和通量:0.1μm/5.5 分、0.15μm/2.75 分、0.2μm/33 秒
  • 稳定性
  • 低运行成本

 Attribute

Specification Value

  

Inspection object

High speed and high accuracy inspection for blank masks

Dimensions

Approx. 2000 (W) x 1700 (D) x 2176 (H) mm
Approx. 78.7 (W) x 66.9 (D) x 85.7 (H) in

Detectable Particle SizePattern surface: 0.1 µm, Glass surface: 5.0 µm, Pellicle surface: 10.0 µm (* PSL equivalent)
Light Source WavelengthSolid State Laser 488 nm, 50 mW

 

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