VG 系列

Capacitance Manometer VG Series

电容压力计

VG 系列电容式压力计尺寸紧凑,采用全金属设计,可选配自动温度调节功能。

事业部: 半导体
产品分类: 干法制程控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 紧凑型自加热设计
  • 电极结构带来高性能和高稳定性
  • 镍合金隔膜具有良好的耐腐蚀性
  • 设定点输出(2 点)
  • 警报输出
  • 通过专用软件调整量程
  • 一键归零
  • 电源要求 +/-15V 直流电或 24V 直流电
  • 符合 CE 认证标准和 RoHS 标准

 

技术论文

电容薄膜真空计研发  (1.3MB)

摘要
"在用于制造发光二极管、半导体、平板显示器和太阳能电池的沉积制程或蚀刻制程中使用了各种气体,而制程压力对产品质量影响巨大,因此需要具备良好耐腐蚀性、无气体依赖性和高精度的真空计。为满足这些要求,HORIBA STEC 研发了电容薄膜真空计“VG-200 系列”,性能评估结果显示其具备出色的重现性和长期稳定性。本文将描述下 VG-200 系列产品的特性和性能评估结果。"

Model VG-200
Full Scale Range

133.32Pa

1.3332kPa/13.332kPa/133.32kPa
Sensor Controled Temperature55°C/100°C
Accuracy Including non-linearity, hysteresis, non-repeatability * 0.5%R.S.0.25%R.S.
Resolution0.03%F.S0.01%F.S
Zero Temp. Coefficient

0.005%F.S./°C

0.0025%F.S./°C
Span Temp. Coefficient0.03%R.S./°C0.02%R.S./°C
Operating Temperature10°C to 45°C(55°C),10°C to 50°C(100°C)
Response time<60msec
Warm Up time60min(55°C),120min(100°C)
Proof Pressure350kPa(A)
OutputAnalog 0-10V, load resistance: 10kΩ or more
Supply Voltage±15VDC ±5% or 24VDC±5% @0.6Amax
SetpointContact form: 1a,1b, Number of setpoint: 2 Current charge capacity: 0.1A @30VDC

* Including non-linearity, hysteresis, non-repeatability at 25℃ ambient temperature after 2hours operation.

Type / Specification

 

 1. Full scale2. Heater set temperature3. Fitting
VG-221

10T:133.32Pa
(1Torr)

11T : 1.3332kPa(10Torr)

12T : 13.332kPa(100Torr)

13T : 133.32kPa(1000Torr)

055 : 55°C
100 : 100°C
KF16 : KF16
8CR : 1/2VCR-F
CF34 : ICF34

● Please choose full scale,heater set temperature and fitting. ● Please contact us If you need alarm initial setting.

 

External Dimension

External Dimension of Capacitance Manometer VG Series

食品和饮料生产中的灭菌过程
食品和饮料生产中的灭菌过程
药品和药品制造中冷冻干燥干燥设备的真空监测
药品和药品制造中冷冻干燥干燥设备的真空监测

留言咨询

如您有任何疑问,请在此留下详细需求信息,我们将竭诚为您服务。 * 这些字段为必填项。

Related products

More IR-400

用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪

More LE 系列

大流量液体源汽化控制系统

More LF-F/LV-F 系列

数字式液体质量流量计/控制器

More MICROPOLE 系统

紧凑型工艺气体监测仪

More SEC-400 系列

质量流量控制器

More SEC-E 系列

质量流量控制器

More SEC-N100 系列

数字式质量流量控制器

More SEC-Z500X

多量程/多气体数字质量流量控制器

More VG 系列

电容压力计

More EC-5000 系列

排气压力控制器

More GR-300 系列

晶圆背面冷却系统

More PTFM-1000V2

皮托管流量计

More UR-Z700 系列

数字式自动压力调节器

More VG 系列

电容压力计

Corporate