CAMSIZER Dynamic Image Analyzer

The CAMSIZER features dynamic image analysis to provide rapid and precise particle size and particle shape distributions for dry powders and bulk material in the size range from 20µm to 30mm.

CAMSIZER X2 Dynamic Image Analyzer

The CAMSIZER X2 features dynamic image analysis to provide rapid and precise particle size and particle shape distributions for dry powders and wet dispersions in the size range from 0.8 µm to 8mm.

Compact Reticle/Mask Particle Detection System PR-PD3

外形小巧、运营成本低、应用范围广

HORIBA的PD系列产品运转效率高,具有长期稳定性,受到众多半导体制造工厂的高度评价。继承了各个结构简单、长期稳定运转的搬运系统,高通过量、可靠性高的光学系统,以及具有防误测功能等高性能设备并巧妙组合成一个整体的产品就是PR-PD3。和以往的机型(PR-PD2)相比,它的外形尺寸小了约1/2,追求低运营成本。检测灵敏度达到0.5μm,具有广泛通用性。诞生了可以用来满足光掩模(reticle/mask)上异物检测这一广泛需求的简便装置。

 

LA 930

The LA-930 uses Mie Scattering (laser diffraction) to measure particle size of suspensions or dry powders. The speed and ease-of-use of this technique makes it the most popular for many applications.

LB550

LB-550采用了动态光散射技术,能够测量非常高浓度的悬浮液,高达40%固容量的浓度范围,1nm-6um的测量范围。

PR-PD5 Particle detection system

实用,低操作成本及广泛的应用性,适用于 glass, chrome and pellicle各表面的检测

LA-350 photo

紧凑型LA350采用米氏散射法(激光衍射)快速简单测量粒径。该方法的快速简捷使得它在更多粒径测量应用中广泛使用。

PR-PD2HR Particle detection system

超精度检测,可至0.35µm , 适用于检测Chrome, glass 以及 Pellicle表面

HORIBA's PR-PD2 Particle Detection System

PR-PD2是通过激光散射方式对曝光工艺中光掩模上的细小颗粒进行检测的装置。可检测光掩模图案面(Pattern Surface)上的最小粒径为0.35μm。并且通过线&空间1.0〜1.5μm的图案识别功能,可以把检测误差抑制在最低限度。

Immersion Pro Probe

一系列高效率的拉曼传感器组成拉曼探头,可以用于进行在线的、非介入性拉曼分析。可以提供浸入式、不同温度下的/不同压力下的以及带摄像头的光纤探头。