2-channel Carbon Sensor Resistivity Meter HE-960RW-GC(W)

HE-960RW-GC可连接两个传感器并可同时进行测量。

一台变换器可同时进行高性能高精度地测量和输出2个不同位置的电阻率。

Auto SE, Simple Thin Film Measurement Tool

Auto SE——让您的例行测量工作不再枯燥!

Automatic pressure regulators

通过气液混合气化方式实现液体材料的高效率气化

它最适于各种工艺的生产线压力测量

通过输入压力控制设定信号,可以远程控制生产线压力

内置有高性能压力传感器和压电阀

最适于超清洁类型的工艺生产线

BHF monitor image

CS-137高精度化学药液浓度计专为半导体制造时清洗制程中所使用的BHF溶液而设计。实现了过去所没有的高速响应性和小巧化,可用于监测硅氧化膜的蚀刻以及晶片表面的微粒清除作业时所使用的BHF溶液(NH4F/HF/H2O)中的各成分浓度。依据浓度计的输出而进行的反馈控制,可以确保BHF溶液的浓度保持在允许范围内,同时,还可以避免不必要的药液更换工作。

碳质探头电阻率计 HE-960R-GC (W)

炭质传感器电阻率计HE-960R-GC(W) — 炭质传感器具有高效的抗药业腐蚀性能,可应用于单槽清洗设备

炭质传感器具有高效的抗药业腐蚀性能,可应用于单槽清洗设备

Exhaust pressure controller image

The EC-5000 series exhaust pressure controller can maintain a consistent pressure...

加热系统 LSC系列

适用于相关范围的液体源的稳定加热系统

Compact Reticle/Mask Particle Detection System PR-PD3

外形小巧、运营成本低、应用范围广

HORIBA的PD系列产品运转效率高,具有长期稳定性,受到众多半导体制造工厂的高度评价。继承了各个结构简单、长期稳定运转的搬运系统,高通过量、可靠性高的光学系统,以及具有防误测功能等高性能设备并巧妙组合成一个整体的产品就是PR-PD3。和以往的机型(PR-PD2)相比,它的外形尺寸小了约1/2,追求低运营成本。检测灵敏度达到0.5μm,具有广泛通用性。诞生了可以用来满足光掩模(reticle/mask)上异物检测这一广泛需求的简便装置。

 

Appearance of DigiCPMJ

Integrated management with an in-situ real time monitor "DIGI Series" for next-generation thin-film processes

Digicpm

Embedded version designed for integration as an OEM module.