2017年12月26日 - TMAH(羟化四甲铵),一种在半导体制程光刻工艺时使用到的显影液主要成分。在湿法刻蚀工艺中,越来越多的半导体芯片厂或者面板厂逐步倾向于使用TMAH作为显影液的主要成分。而监测显影液中TMAH的浓度可帮助用户控制刻蚀效果,提高刻蚀效果的质量与效率。HORIBA集团生产的HE-960H-TM系列的浓度计,作为显影液的主要成分的监测仪器,

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2017年12月19日 - HORIBA集团旗下最经典,市场占有率最大的产品即热式质量流量控制器,其原理是利用气流流过毛细管造成毛细管上下游温差从而检测、控制气体质量流量。不同于容积式流量计或流量控制器,其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量,所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

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2017年12月19日 - 品  牌:HORIBA STEC产品型号:SEC-Z500X系列 / SEF-Z500X系列原产  国:国外 日本 详细说明:SEC-Z500X系列数字式质量流量控制器、

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2017年11月28日 - 品  牌:HORIBA STEC产品型号:LF-F20M-A适用范围:各芯片厂、高教所在地区:国外 日本 概要数字式

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2017年11月28日 - HORIBA集团拥有丰富多样的压力控制产品以控制气体供应系统中的压力。我们提供的压力控制器采用了数字式高性能压力传感器与压电陶瓷阀门,主要运用包括:晶圆冷却系统中控制氦气压力以降低热损害,气体管路中控制后端管道压力以保障流量计稳定工作,反应源液罐体后端控压以保证罐内压力稳定在安全范围。这些器件的研发及使用都始终致力于提高制程工艺中的良品率。 常见压力控制器UR-Z700系列 最常见的

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2017年11月16日 - HORIBA STEC主流流量控制器普遍采用热式质量流量控制器,最具代表意义的莫属SEC-Z500系列。随着半导体各种制程技术的革新与技术要求提高,HORIBA STEC不辱使命的推出了完全不同于以往的流量控制器——PI(压力非敏感)

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2017年11月16日 - HORIBA集团生产的自动供液系统可实现绝大多数的液体供应。在半导体制程中,如何安全有效的实现液体传输及气化是非常紧要的一个过程。针对此点,HORIBA集团在综合考量各种液体特性设计出一款液体源

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