工业过程

光谱是一种强大的技术,其灵敏度非常高。它们具有非破坏性的特点,能利用光纤光学探针进行在线或者远程测量。目前,这些技术在工业中被广泛应用。下表中举例列出了当前技术水准下的应用及可获得的信息。以下分析技术和仪器用于工业过程,请点击后面的“对勾”以获得更多信息。

 

烘干/水合

 

 

乳状液

 

 

顶空分析

 

 

批量测量、多样品阵列

 

 

沉积过程的在线深度控制

 

 

在线薄膜监测和控制

 

 

PAT

 

 

等离子刻蚀过程控制

 

 

等离子刻蚀的深度控制(1-5微米)

 

 

等离子刻蚀界面检测

 

 

等离子监测和终点检测

 

 

聚合/挤压

 

 

多态性

 

 

原料的批量分析

 

 

反应监测

 

 

浑浊液和悬浮液

 

 

溶液/反应混合

 

 

薄膜生长或刻蚀监测

 

 

清洗液废液分析