半导体

以下分析技术和仪器用于半导体分析,请点击后面的“对勾”以获得更多信息

合金组分,能带结构

能带结构,PLE/PL

金属化合物

污染

晶体(硅)

掺杂效应

铁电薄膜

CdSe纳米颗粒的荧光光谱

异质结构

高、低k值材料

硅上的多层结构分析

ONO 薄膜

光学性质

氧化多孔硅

光致发光

等离子刻蚀终点技术

试剂,例如:纯水、H2SO4, H3PO4, HCl, HNO3, NH3, photo-resist

多孔硅

圆晶片生产材料质量控制

硅上的BPSG定量分析

原料的痕量元素分析

SOI薄膜

应力/应变

超晶格结构和缺陷研究

超导

厚度(单层,多层,自氧化,粗糙度,界面)

薄膜晶体管,MOSFET,OTFT

薄膜平面方向和深度方向的均匀性