脉冲射频辉光放电光谱仪不仅可对表面/深度进行剖析，同时也可做成分分析。它对固体材料，如金属、金属合金镀层、半导体、有机镀层、玻璃等中所有的元素都有很高的灵敏度，甚至是气体元素也可进行分析。

作为新兴的表面分析技术，辉光放电光谱仪凭借其特色的功能和优点，可以与XPS和SEM有很好的互补。