脉冲射频辉光源

辉光放电光谱仪分析时使用的GD等离子是一种高密度的等离子体,大约为1014(带电粒子/ cm3),同时撞击样品表面的入射离子的能量很低,约为50eV,而且由于经过多次碰撞因此离子没有方向性。这就是为什么相比于更高能量的溅射离子,辉光放电光谱仪不仅具有快速的溅射和卓越的深度分辨率,同时对样品表面损伤非常小。

在常规操作条件下,金属的溅射速率在1-5 µm/minute100nm的单层-3秒内即可溅射完毕。测试一个元素扩散50µm厚的热处理钢材可在10分钟内完成。