天文学用的整体透射光栅

全息离子束刻蚀透射光栅

刻划于熔融石英基底上的高效近红外透射光栅(棱栅)

Rosetta Mission: fly by Mars

在很多天文学应用中,棱栅(透射光栅刻录在棱镜上)被广泛用作近红外光谱的色散元件,它可同时保持光束传输方向不变.

在近红外谱区,常规的复制棱栅有很多局限。复制光栅的环氧粘结层会吸收近红外辐射,在低温下使用时棱栅的整体性还会受到损害.

鉴于上述考虑, HORIBA Jobin Yvon 用全息方法产生条纹图案,並直接刻蚀到近红外熔融石英基底的方法设计加工了透射光栅.

Example of a High Efficiency IR Transmission Grating (GRISM)

开发了三种波长范围在1微米到2.4微米的光栅, 衍射效率在自然光下达到了60% 至 70%.

这些直接刻录在熔融石英上的光栅可以在极低温和真空环境下正常工作.

直接刻录于CaF2基底上的高效紫外透射光栅(棱栅)

Example of ion etched ruled grating profile

利用精湛的离子束刻蚀技艺, HORIBA Jobin Yvon 开发了一种在CaF2.上产生优化条纹图案的技术.原刻光栅制作在一块覆盖了金膜的基底上,通过离子束刻蚀直接将光栅线槽轮廓转移到基底上.所得到的锯齿槽型光栅可以经受极端温度和环境的工作条件.

利用离子束直接刻录在CaF2基底上的方法,我们成功为GALEX加工了一块锯齿槽透射光栅,这块光栅利用二级光谱工作在140nm.