机械刻划

Mechanical Ruling

        经典刻划母光栅,首先在高抛光基质上蒸镀一层金或铝,然后用精密金刚石工具机械刻划出三角形凹槽。

        刻划光栅难以置信的高规格需要极高的技术,因此世界上能够生产刻划光栅的公司极少。HORIBA Jobin Yvon的刻划机就位于当今世界上成功运行的10-15台光栅刻划级之列。

        刻划机最重要是要求金刚石托架能够精确地沿着每一个划线刻划,任何横向的偏移都会给最后的光栅刻槽间距带来误差。托架沿着非常光滑的轨道运动,采用非常精确的外差激光干涉仪控制托架位移,从而保证刻槽的绝对平行和精确位移。

        最后,整个光栅表面的刻槽外形必须保持一致。刻划机工具在运行中的任何磨损都必须进行补偿:原子力显微镜(AFM)适用于这项控制。

        由于刻划光栅制作的高难度(和相应的高成本),因此大多数设备中使用的是比较经济的刻划母光栅的复制光栅。

        HORIBA Jobin Yvon拥有最丰富的刻划母光栅库,用于制造高精度复制光栅。