用于真空紫外和软X-光波段范围的高质量反射镜

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数例超环面反射镜:

参考号 面型 基底尺寸(mm) 有效面积(mm) 曲率半径 基底材料 表面粗糙度(nm) 面型误差(µrad)
545 70 038S Toroidal 50x250x50 20x230 R1 = 57 300
R2 = 93.1
Si 0.5 5
545 70 060S Toroidal 40x280x40 30x270 R1 = 328 360
R2 = 261.77
Si 0.5 5

柱面反射镜举例:

参考号 面型 基底尺寸(mm) 有效面积(mm) 曲率半径 基底材料 表面粗糙度(nm) 面型误差(µrad)
545 70 039S 柱面 60 x 300 x 60 30x280 R = 698 Si 0.5 5