真空紫外和软X-光的光栅和反射镜

从HORIBA Jobin Yvon介入真空紫外光学系统仪器领域起,和世界上许多同步辐射实验室密切合作,开发新的光学元件,单色器设计及部件,其目的是提高分光系统的光谱分辨率和通量,减少高次谐波的影响。比如,在1969年就开发出了光栅的全息记录工艺,在1975年就设计和生产了超环面光栅单色器(TGM)系统,在1983年在世界上推出离子束刻蚀全息光栅.

T由于第三代同步辐射光源的亮度高,它需要特殊精密的分光仪器技术(光学元件冷却技术,高分辨率单色器,高稳定的精密机构等),以便充分利用光源的特性。 在1996年,HORIBA Jobin Yvon从欧共体的尤利卡高科技计划(EUREKA)获得专门资助,其目的是开发适用于第三代光源的新光束线系统和关键技术。为达到这个目标,HORIBA Jobin Yvon和LURE同步辐射实验室合作(Orsay - France)合作,开发了3个光束线的模拟和优化软件.

用于同步辐射和软X-光波段的离子束刻蚀全息Lamella原刻光栅
用于真空紫外波段的离子束刻蚀全息原刻光栅
用于极紫外波段的变刻槽深度(VGD)原刻光栅
用于真空紫外和极紫外波段的高质量反射镜