变刻槽深度(VGD)原刻光栅

Grating Info

基底尺寸
(mm)

 

有效面积
(mm)

 

线密度
(l/mm)

 

标称槽深变化 25 mm

h Min (nm)

h Centre (nm)

h Max (nm)

40x100x30

35x90

1800

4.5

10

15.5

40x100x30

35x90

600

18

35

52

40x100x30

35x90

300

42.5

80

117.5