UVISEL位相调制型椭偏仪性能说明(第二部分)

性能
以70°入射角,积分时间为200ms/单点,光谱范围190-2100nm测量十次NIST 100nm标样。使用c-Si上单层SiO2模型。SiO2的光学常数由经典洛伦兹振动(classical Lorentz oscillator)散射公式描述。

在整个光谱范围内,测量结果显示出非常好的可重复性:

  • 厚度的平均值:973.23 ± 0.11 Å
  • 折射率的平均值:1.4627 ±0.00006

根据以上定义,UVISEL的精确度为:

  • 厚度:0.23 Å
  • 折射率:0.002

不同积分时间下的可重复性

在通常的应用中,采用单点100ms或200ms积分时间。

实验条件:

  • 测量次数:2.75ev(450nm)下10次
  • 样品:硅上的热氧化物(~840Å)
  • 积分时间:1-1000ms

Time(ms)

1000

500

200

100

50

Ψ (%)

0.02

0.03

0.05

0.05

0.07

Δ (%)

0.01

0.02

0.03

0.04

0.06

Time(ms)

20

10

5

2

1

Ψ (%)

0.14

0.23

0.32

0.61

0.86

Δ (%)

0.10

0.16

0.20

0.25

0.41

结论:
基于光弹调制的椭圆偏振光谱仪具有高精确度与可重复性。由于采用这项技术,UVISEL将高性能与实验多功能独特地结合起来,满足了高级用户的应用需求。