UVISEL位相调制型椭偏仪性能说明

Δ接近0°时椭偏测量精确性:透射空气测量.

空气是椭偏参数确定的材料:透射空气椭偏测量应得到确定值Ψ=45°, Δ=0°。

以2000ms积分时间在1.5-5eV范围内执行透射空气椭偏测量。
Ψ平均值:44.98°-45.02°。
Δ平均值:-0.02°-0.02°。
标准差:Ψ为0.0035,Δ为0.0057,均在±0.01º以内。

偏仪的精确性和可重复性

标准参考材料
UVISEL椭偏仪精确度和可重复性测试采用美国国家标准技术研究所(NIST)提供的标准参考材料(SRM)。
标样包括硅片上热氧化物,并使用 NIST 100nm标样。

NIST 100nm标样给出以下认证值(单层模型):

  • 厚度:973.00 Å
  • 折射率:1.465

定义
重复性定义为同一点上10次静态测量的标准差。
精确度为10次测量的样品特性(厚度和折射率)平均值与NIST标称值之差。