光弹调制相比于其它偏振调制具有哪些优点?

宽光谱覆盖
主要优点在于能够覆盖远紫外到近红外光谱范围,无需多个硬件装置,无需移动任何光学元件,UVISEL即可实现从190nm到2100nm的连续、精确测量。

大接受角范围
光弹调制器的光学元件具有很大的入射角容限,使系统对准变得非常简单。由于光束不沿着旋转元件的主轴前进,这在液体池和沉积/刻蚀反应器里在线测量时是一个很大的优点。

微光斑功能
UVISEL集成了样品光学耦合的反射镜,在整个光谱范围内可以提供小至50微米的微光斑功能。微光斑测量对于表征半导体晶圆上的图案化材料、显示器材料和生物传感器是十分有用的。同时还具有可分析粗糙层和透明基底器件的优点。

全范围内Ψ和Δ的高精度测量
位相调制型椭偏仪通过测量以下参数在全范围内获取样品Ψ 和 Δ的最优化值: