光伏器件是一种半导体器件，能将来自太阳的光子转换为电能。不同的光伏技术通过吸收材料（a-Si:H, µc-Si:H, Si, CdTe, Cu(InGa)Se2, 聚合物…）的类型区分。
可以被SE表征材料结构的样品包括:

• 非晶、多晶、微晶、纳米晶硅

• 透明导电氧化物

• 氮化硅

• 有机材料

光伏器件的厚度和光学常数(n,k)是用来控制器件性能重要的物理特性。

椭圆偏振光谱仪允许这些特性的在线控制并提供大面积快速扫描测量（mapping）。