原位椭圆偏振光谱仪能以亚单层的精度实时监测和控制薄膜沉积与刻蚀的过程。能够提供在不同外界条件下的薄膜厚度、光学常数和组分。
在线椭圆偏振光谱仪用于涂镀和连续卷式系统
原位薄膜过程控制-光谱范围:190-2100nm