原位和在线椭偏仪

原位椭圆偏振光谱仪能以亚单层的精度实时监测和控制薄膜沉积与刻蚀的过程。能够提供在不同外界条件下的薄膜厚度、光学常数和组分。

 

UVISEL In-Line Spectroscopic Ellipsometer

在线椭圆偏振光谱仪用于涂镀和连续卷式系统

UVISEL Plus In-Situ Spectroscopic Ellipsometer

原位薄膜过程控制-光谱范围:190-2100nm

Ellipsometry for Organic Webinar