光谱型椭圆偏振仪

除了表征薄膜厚度和光学常数,椭偏分析还提供了关于材料特性的丰富信息: 各向异性、梯度变化、形貌、结晶度、化学组分、电导率。

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UVISEL Plus

产品:

UVISEL VIS: 210-880 nm

UVISEL FUV: 190-880 nm

UVISEL NIR: 245-2100 nm

UVISEL ER: 190-2100 nm

UVISEL VUV: 142-880 nm

测量薄膜厚度和光学常数。用于研究和工艺发展.

Auto SE, Simple Thin Film Measurement Tool

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 UVISEL 光谱型椭圆偏振仪