选择哪个波段?

椭偏仪的光谱范围十分重要,因为它决定了仪器的应用范围。光谱范围越宽,获得被测样品的数据就越多,这些数据可以用来更准确的分析样品。

远紫外应用

近红外应用

  • 分析在紫外波段呈现特殊效应(各向异性、吸收)的材料如高消光系数、有机材料、塑料薄膜等
  • 对以下样品准确性更高:

    • 超薄薄膜
    • 折射率接近的薄膜
    • 呈现渐变或者各向异性的复杂薄膜

  • 在光刻波长(193、248、365nm)处的光学常数测量
  • 长波长为在可见波段呈现吸收特性的材料提供了一个厚度测量的透明窗口
  • 一般而言增强了5微米以上厚薄膜测量分析的准确度
  • 用于通信应用(1550,1300,...,nm)的光学常数测量