干法镀膜

HORIBA是目前全球范围内最大的气体或液体流量控制器的生产制造商之一，包括模拟式、数字式、高温质量流量控制，以及搭配有液体源汽化控制及传输系统。

HORIBA提供的临界控制系统成功应用于镀膜制造产线。我们提供广泛综合的液体控制及过程监控已提高产量，加大生产力以及镀膜工艺的综合价值。

HORIBA拥有世界上最小的四极质谱仪，相较于其他更大型的传统系统，能有效应用于高压环境（1 Pa）。它并不需要额外添加泵送设备。

气体流量计/气体质量流量控制器

针对多种工业。多种通讯方式，数字式/模拟式，DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™以及EtherCAT®。大范围控制从10SCCM到1000SLM，全金属

尖端的压力不敏感型高性能质量流量控制器: D500

高稳定性质量流量模块—气体流量控制不受上游和下游压力波动差影响、PI（压力不敏感型）质量流量模块

适用于高温环境的数字式质量流量控制器

完全的质谱仪系统

应用于反应溅射工艺中优秀的等离子体控制，对于在反应溅射工艺中出色的气体流量反馈控制, 通过工艺时等离子体或者供电电压的实时监测有助于提高产品质量并达到更高产能。