燃料电池

针对多种工业。多种通讯方式，数字式/模拟式，DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™以及EtherCAT®。大范围控制从10SCCM到1000SLM，全金属

尖端的压力不敏感型高性能质量流量控制器: D500

高稳定性质量流量模块—气体流量控制不受上游和下游压力波动差影响、PI（压力不敏感型）质量流量模块

适用于高温环境的数字式质量流量控制器

通过气液混合气化方式实现了液体材料的高效率气化

由于是无载体类型，所以可以构筑小型气化系统

由于通过质量流量来测定发生量，所以可以不必受到温度・压力的影响进行液体材料的气化供给。

适用于相关范围的液体源的稳定加热系统

LU系列产品可自动输送化学药液至加热系统或液体喷射系统。安全，高效，保证液体源供应不间断。

HORIBA荣获液体传输系列大奖（FDM系列），此奖项表彰于HORIBA在扩散工艺中成功开发了POCL3自动传输系统，实现POCL3传输特制塑料鼓泡装置内。

FDM和VM系统适用于硅基电池片的扩散制程，同样可以用于BBr3的扩散制程，减少运输和人力成本，提高安全性。

搭载冷却检测方式的质量流量传感器