
加热系统 LSC系列
概要
HORIBA STEC在售的最好的液体加热系统已经能够满足目前高科技工业的需求,LSC-A100可以不需要载气并提供大流量气化,LSC-A100能够提供稳定的气化后的液体,例如TESO 60SCCM和H2O 2SLM。
所有的设备操作可以在设备前端的操作界面上实现。一种可选的袖珍PC型的PDA可以用来监视LSC的操作状态,并且去记录和分析操作数据。
LSC系列是一种针对诸如TEOS等液体的液体气化系统,历史证实这是一种很受欢迎的系列。LSC-A100是LSC系列中最新的一种型号,可以产生大流量的蒸汽。和之前的型号比较,新的LSC-A100可以在没有载气的情况下提供稳定的液体气化,可以传送稳定持续的蒸汽供应(如600ccm的TEOS,2SLM的H2O)。
特征
- 大流量气化
- LSC-A100提供稳定的液体气化,诸如TEOS 600SCCM和H2O 2SLM
- 所有的设备操作可以在设备前端的操作界面上实现
- 一种可选的袖珍PC型的PDA可以用来监视LSC的操作状态,并且去记录和分析操作数据。
制造: HORIBA STEC
規格
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Flow rate generated | H2O 2SLM, TEOS 600 SCCM (Max.) |
Operating pressure | Max. 1.33kPa |
Source tank volume | 2.7L |
Heat regulation method | PID control by the heat regulator |
Liquid surface detection method | Floating switch |
Internal mass flow controller | SEC-8400 series |
Air pressure valve | Bellows type |
Materials in liquid connection and gas contact area | SUS316L, PFA |
Operating Temperature | 20 to 35°C |
External input | Air pressure valve open/close, mass flow controller flow rate setting signal (0 to 5 V DC/0 to 100% F.S.), emergency stop signal, auto zero signal (option) |
External output | Temperature alarm, liquid level H.H. alarm, liquid level signal (H, M, L), READY signal, mass flow controller flow rate output signal ((0 to 5 V DC/0 to 100% F.S.), thermoregulated bath internal fan stop alarm, valve voltage monitor (option) |
Power source | AC 100 V, single phase 50/60 Hz, 1.5 kVA |
Other | Auto-recharge system: Can be connected to LU series. |
* The flow rate control range varies with the type of liquid. | |
* SCCM and SLM are symbols indicating gas flow rate (mL/min, L/min at 0°C, 101.3 kPa). |