直接注入 VC 系列
概要
由于是无载体类型，所以可以构筑小型气化系统
由于通过质量流量来测定发生量，所以可以不必受到温度・压力的影响进行液体材料的气化供给。
特征
- 超小型 ： 只有原来的1/5
- 高速完全气化 ： 可以瞬间完全气化被供应的液体。
- 安装固定方向自由 ：无论在哪一个安装固定方向，都可以保持相应功能。
- 不需要气泡式容器、气化容器
制造: HORIBA STEC
規格
VC-1310 | |
产生流量 (TEOS发生时) | 不满1.0 CCM (液相的换算) ※1 |
对象液体种类 | 会腐蚀不锈钢的HCl、HF等液体除外 |
可升温温度 | 最大值.150℃ |
接气部材质 | SUS-316L (PTFE) |
耐压 | 1.0MPa(G) |
VC-1310 | |
产生流量 (TEOS发生时) | 最大值.5.0 CCM不到 (液相的换算) ※1 |
对象液体种类 | 会腐蚀不锈钢的HCl、HF等液体除外 |
或升温温度 | 最大值.150℃ |
接气部材质 | SUS-316L (PTFE) |
耐压 | 1.0MPa(G) |
※1 不同的液体种类将会有所差异。请进行咨询协商。
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