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混合注入系统液体汽化器
该混合注入系统可通过使用气液混合物汽化方法快速汽化各种液体源。该方法可实现高沸点液体的稳定汽化。
测量技术
注入方式 以下是汽化液体源并将其输送到处理室的主要步骤。 1. 测量液体源的流量,并通过阀门反馈和控制液体量。 2. 液体瞬间汽化。 3. 气体被释放,防止凝结成液态。
由于载气在注入器内部喷嘴前的压力较高,因此可以获得有效加热。液体源和加热的载气在喷嘴前的气液混合区混合在一起,当混合物通过喷嘴时,压力降低,混合物进而汽化。
MI-1000/MV-1000 系列 规格
外形尺寸
如您有任何疑问,请在此留下详细需求信息,我们将竭诚为您服务。
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排气压力控制器
基于光发射光谱和 MWL 干涉测量法的工艺终点/反应腔健康监测
光发射光谱蚀刻终点监测仪
大流量液体源汽化控制系统
数字式液体质量流量计/控制器
紧凑型加热汽化
自动供液系统
压电阀
高温数字式质量流量控制器
数字式质量流量控制器
多量程/多气体数字质量流量控制器
数字式自动压力调节器
直接液体注入系统
定容取样
高响应压力非敏感质量流量器
Best Performance Pressure Insensitive Mass Flow Module
Micro Flow Pressure Insensitive Mass Flow Module
宽范围压敏质量流量计
紧凑型质量流量控制器
超声波尾气流量计
热式气体分流器
Hydrogen Fuel Flow Meter
皮托管流量计
双路皮托管流量计
质量流量控制器
新型压力补偿质量流量控制器
压力补偿质量流量控制器
压差式质量流量控制器