光伏制造过程的过程控制与现场测量

清洁、可再生能源的发展仍在继续。HORIBA的分析、测量和控制技术正在推动光伏发展向电网平价迈进。HORIBA产品用于晶体和薄膜太阳能电池的制造过程。并将我们丰富的科学分析经验应用在您的研发实验室。HORIBA的高可靠性过程监视器和流体控制器在生产过程中提供质量保障.堀场在半导体和FPD行业的悠久历史,定制检测系统,让HORIBA 帮助你们迎接提高光伏电池生产效率的挑战。

相关产品

CS-100 Series
CS-100 Series

独立式化学药液浓度计

CS-100F1 系列
CS-100F1 系列

光纤型化学药液浓度计

CS-600F
CS-600F

光纤型化学药液浓度计

CS-620F
CS-620F

光纤型高温磷酸浓度计

CS-700
CS-700

高精度、高稳定性化学药液浓度计

CS-900
CS-900

非接触式化学药液浓度计

D700MG
D700MG

高响应压力非敏感质量流量器

D700T
D700T

Best Performance Pressure Insensitive Mass Flow Module

D700uF
D700uF

Micro Flow Pressure Insensitive Mass Flow Module

D700WR
D700WR

宽范围压敏质量流量计

DZ-100
DZ-100

紧凑型质量流量控制器

EC-5000 系列
EC-5000 系列

排气压力控制器

EV 2.0 系列
EV 2.0 系列

基于光发射光谱和 MWL 干涉测量法的工艺终点/反应腔健康监测

EV-140C
EV-140C

光发射光谱蚀刻终点监测仪

FS-3000
FS-3000

热式气体分流器

GR-300 系列
GR-300 系列

晶圆背面冷却系统

HD-960L
HD-960L

低浓度溶解氧浓度计

HE-480C-GC
HE-480C-GC

碳传感器电导率计(低浓度型)

HE-480R(W)
HE-480R(W)

工业级电阻率计

HE-960CA
HE-960CA

柠檬酸浓度计

HE-960H-KOH
HE-960H-KOH

KOH 浓度计

HE-960H-TM
HE-960H-TM

宽测量范围 TMAH 浓度计

HE-960H-TM-S
HE-960H-TM-S

高精度 TMAH 浓度计

HE-960HC
HE-960HC

碳传感器电导率计(高浓度)

HE-960LC
HE-960LC

碳传感器电导率计

HE-960LF / FS-09F-1/2
HE-960LF / FS-09F-1/2

平面碳传感器电导率计

HE-960R-GC(W)
HE-960R-GC(W)

碳传感器电阻率计

HE-960RW-GC(W)
HE-960RW-GC(W)

双通道电阻率计

HF-960EM
HF-960EM

在线传感器和自动测量范围切换浓度计

HF-960H
HF-960H

HF / HCl 浓度计

HF-960M
HF-960M

低浓度型 HF/HCl/NH3 浓度计

HF-SP-CU
HF-SP-CU

双通道高精度 HF 浓度计

HP-480(W)
HP-480(W)

工业 级pH 计

HZ-960
HZ-960

溶解臭氧浓度计

HZ-960HPO-M
HZ-960HPO-M

H2O2 浓度计

IR-200
IR-200

用于腔室清洗终点监测的气体监测仪

IR-300
IR-300

蒸汽浓度监测仪

IR-400
IR-400

用于腔室清洗终点监测的高级气体监测仪

LE 系列
LE 系列

大流量液体源汽化控制系统

LEM Series
LEM Series

基于实时激光干涉测量的摄像头终点监测

LF-F/LV-F 系列
LF-F/LV-F 系列

数字式液体质量流量计/控制器

LSC 系列
LSC 系列

紧凑型加热汽化

LU 系列
LU 系列

自动供液系统

MI-1000/MV-1000
MI-1000/MV-1000

混合注入系统液体汽化器

Micropole System QL Series
Micropole System QL Series

Quadrupole Mass Analyzer

MICROPOLE 系统
MICROPOLE 系统

紧凑型工艺气体监测仪

MU-2200
MU-2200

MU 系列混合气体发生器

MV-2000 系列
MV-2000 系列

混合注入系统液体汽化器

PV 系列
PV 系列

压电阀

RU-1000
RU-1000

等离子体发射控制器

SEC-400 系列
SEC-400 系列

质量流量控制器

SEC-8000 F/D/E 系列
SEC-8000 F/D/E 系列

高温数字式质量流量控制器

SEC-E 系列
SEC-E 系列

质量流量控制器

SEC-N100 系列
SEC-N100 系列

数字式质量流量控制器

SEC-Z500X
SEC-Z500X

多量程/多气体数字质量流量控制器

SEC-Z700X 系列
SEC-Z700X 系列

压力补偿质量流量控制器

SLIA-300
SLIA-300

高灵敏度二氧化硅浓度计

TU 系列
TU 系列

试验气体生成系统

UP-100
UP-100

微量 pH 计

UR-Z700 系列
UR-Z700 系列

数字式自动压力调节器

VC 系列
VC 系列

直接液体注入系统

VCC-100
VCC-100

蒸汽浓度控制器

VG 系列
VG 系列

电容压力计

VG-200S
VG-200S

电容式压力计

XF-100 系列
XF-100 系列

数字式液体质量流量计

压差式质量流量控制器 D500
压差式质量流量控制器 D500

压差式质量流量控制器