薄膜硅

EMAX ENERGY combined with SEM is an energy dispersive X-ray analyzer which is suited for foreign material and composition analysis. It matches the samples in many applications.

Analyzer is designed to provide pertinent...

GD-Profiler 2™提供了快速、同时分析所有感兴趣的元素，包括氮、氧、氢和氯。是薄膜描述和工艺研究的理想工具。

具有优越的性能和灵活性，包括全自动及一系列可选附件。

单点分析以及自动球面成像.

双真空管模式.

光斑尺寸自1.2 mm 到 10 µm.

完全的质谱仪系统

HORIBA荣获液体传输系列大奖（FDM系列），此奖项表彰于HORIBA在扩散工艺中成功开发了POCL3自动传输系统，实现POCL3传输特制塑料鼓泡装置内。

FDM和VM系统适用于硅基电池片的扩散制程，同样可以用于BBr3的扩散制程，减少运输和人力成本，提高安全性。

通过气液混合气化方式实现了液体材料的高效率气化

LU系列产品可自动输送化学药液至加热系统或液体喷射系统。安全，高效，保证液体源供应不间断。

In-line compact vapor concentration monitor, enables MOCVD precursor delivery to be stable.

Auto SE——让您的例行测量工作不再枯燥！

这是一套分析放射性发光的终点监测设备，专为以等离子技术为基础的半导体薄膜制程进行终点检定或等离子条件的监控而研制。新型的数学模型技术赋予它通过捕获微弱信号的变化进行终点检定的能力。在放射性发光中捕获微弱变化的能力显著地提高了灵敏度。对于抗干扰性的改善确保了本设备在复杂环境下持续不停的生产线上获得高稳定的运行。

HORIBA科学仪器事业部推出了新一代研究级光谱型椭圆偏振光谱仪，它具有最高的精确度、重复性、灵敏度，且具备独一无二的功能特性，是用于表征纳米和微米膜层的有力工具。UVISEL 2具有完备的全自动特性，操作简单、快速，可广泛应用于各类现有及新兴领域。