薄膜硅制造工艺与HORIBA相对应产品

Thin Film Silicon DI Water Analysis/Waste Water Monitoring Chemical Solution Monitoring Material Analysis Fluid Control Film Deposition Process Control/Thin Film Analysis

相关产品

如下展示了不同阶段的薄膜硅制造工艺过程。请点击各个阶段的链接以了解我们产品。

2-channel Carbon Sensor Resistivity Meter HE-960RW-GC(W)

HE-960RW-GC可连接两个传感器并可同时进行测量。

一台变换器可同时进行高性能高精度地测量和输出2个不同位置的电阻率。

CODMn(高锰酸盐指数)在线自动监测仪

CODA-500:依靠先进的技术和超过30年的经验积累,HORIB开发出高效能CODMn(高锰酸盐指数)在线自动监测仪

2 channel Sanitary conductivity meter HE-960CW product photo

Measures the conductivity ranging from purified water up to 2000 µS/cm for pharmaceuticals, food, and cosmetics applications

Highly Sensitive Silica Monitor SLIA-300

用于超纯水的二氧化硅分析,具有小巧且高灵敏度的新性能。

 

 

 

TPNA-500 Automatic Total Nitrogen/Phosphorus Monitoring

沉淀60多年水质检测科技研发的最新型号

设备生命周期成本更低

符合政策及企业遵章的要求

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EMAX ENERGY EX-250/350/450

EMAX ENERGY combined with SEM is an energy dispersive X-ray analyzer which is suited for foreign material and composition analysis. It matches the samples in many applications.

Analyzer is designed to provide pertinent...

GD-Profiler

GD-Profiler 2™提供了快速、同时分析所有感兴趣的元素,包括氮、氧、氢和氯。是薄膜描述和工艺研究的理想工具。

 

LabRAM HR Evolution Raman Microscope

具有优越的性能和灵活性,包括全自动及一系列可选附件。

XGT-7200

单点分析以及自动球面成像.

双真空管模式.

光斑尺寸自1.2 mm 到 10 µm.

小型工艺气体分析仪 MICROPOLE系统

世界上最小的完全的质谱仪系统

POCl3 Auto Refill System VDM Series

HORIBA荣获液体传输系列大奖(FDM系列),此奖项表彰于HORIBA在扩散工艺中成功开发了POCL3自动传输系统,实现POCL3传输特制塑料鼓泡装置内。

FDM和VM系统适用于硅基电池片的扩散制程,同样可以用于BBr3的扩散制程,减少运输和人力成本,提高安全性。

Mixed Injection System Liquid Vaporizer MI-1000/MV-1000 Series

通过气液混合气化方式实现了液体材料的高效率气化

液体自动填充系统 LU系列

LU系列产品可自动输送化学药液至加热系统或液体喷射系统。安全,高效,保证液体源供应不间断。

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气体浓度计

Vapor Concentration Monitor IR-300

In-line compact vapor concentration monitor, enables MOCVD precursor delivery to be stable.

Auto SE, Simple Thin Film Measurement Tool

Auto SE——让您的例行测量工作不再枯燥!

Optical Emission Spectroscopy Etching End-point Monitor EV-140C

这是一套分析放射性发光的终点监测设备,专为以等离子技术为基础的半导体薄膜制程进行终点检定或等离子条件的监控而研制。最新的数学模型技术赋予它通过捕获微弱信号的变化进行终点检定的能力。在放射性发光中捕获微弱变化的能力显著地提高了灵敏度。对于抗干扰性的改善确保了本设备在复杂环境下持续不停的生产线上获得高稳定的运行。

New Uvisel 2

HORIBA科学仪器事业部推出了新一代研究级光谱型椭圆偏振光谱仪,它具有最高的精确度、重复性、灵敏度,且具备独一无二的功能特性,是用于表征纳米和微米膜层的有力工具。UVISEL 2具有完备的全自动特性,操作简单、快速,可广泛应用于各类现有及新兴领域。