空白掩膜板异物监测系统 PR-PD2BLI

空白掩膜板异物监测系统 PR-PD2BLI

概要

PR-PD2BLI可实现0.1μm的微粒监测，包括多级分类器及多种通讯方式，可在空白掩膜板上实现高效监测。

特征

高灵敏和高效

  • 0.1μm/5.5 min (142mm)
  • 0.15μm/2.75 min (142mm)
  • 0.2μm/33 sec (142mm)

多种装载/卸载

制造: HORIBA

規格

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应用

  • 监测光掩膜上异物及光刻中的空白标线
  • 外部质量检查和常规检查