Skip to navigation
Skip to content
首页
企业信息
投资者相关
公司新闻
出版物
CSR
人才招聘
联系我们
Country/Region Selection
中国 | China
Site search
Search keyword(s):
Search
汽车测试系统
过程&环境
医疗
半导体
科学仪器事业部
浏览产品
半导体
光伏工艺
FPD工艺
干法镀膜
燃料电池
环境
生物制程
干燥冷冻
工业炉
光纤
超导体
试验气体反应
首页
»
半导体
应用
半导体
Details
»
空白掩膜板异物监测系统 PR-PD2BLI
空白掩膜板异物监测系统 PR-PD2BLI
概要
規格
其他资料
概要
PR-PD2BLI可实现0.1μm的微粒监测,包括多级分类器及多种通讯方式,可在空白掩膜板上实现高效监测。
特征
高灵敏和高效
0.1μm/5.5 min (142mm)
0.15μm/2.75 min (142mm)
0.2μm/33 sec (142mm)
多种装载/卸载
制造: HORIBA
規格
请与我们联系
应用
监测光掩膜上异物及光刻中的空白标线
外部质量检查和常规检查