
光掩模(Reticle/Mask)颗粒探测系统 PR-PD5
概要
多功能性及紧凑型增强的低成本检测
继续了PD系列的高效性,因其紧凑的设计,PR-PD5具有优秀的成本经济性表现,同时该型号也可以集成于Reticle Stocker/Stepper和清洗机等设备中
非常低的维护及操作成本由于应用了高经济性的He-Ne激光和简化了的检测进给单元与平台单元,维护和操作成本得以降低
免于误检的有效功能PR-PD5具有针对粗糙表面的Pattern的极化区分功能,以及对应良好表面的Pattern的低通区分功能。这两种方式可有效避免在OPC等pattern下的误检。
差异化应用的多功能性对应在Pattern面上的颗粒物,检测精度可达到0.5µm,PR-PD5不仅可检测Reticle和Mask上的颗粒物,同时也能以高输出率检测在Glass和Pellicle面上的颗粒物。
尖端,复合功能性的软件使用Horiba本社的复合功能软件,集合了Pattern Masking,外来颗粒物标识和数据库管理等功能
特征
- 自动协同补偿功能
- 3个光电射极传感器可检测Reticle边缘
- 自动校正Reticle在输入系统上的位置偏离
- 显示的结果是基于比较自Reticle边缘的坐标
- Reticle倒置构造
- 可选择0.5 至 50 µm
- 单检测系统
- 内建和混合的型式
- 应用数据管理功能的多种类报告的输de
制造: HORIBA
規格
PR-PD5 | |
检测目标 | 已封装或未封装Pellicle的Reticle/Mask |
原理 | 极化激光散射方式 |
可检测的颗粒物尺寸 | Pattern surface: 0.5 µm, Glass surface: 5.0µm, Pellicle surface: 10.0 µm (* PSL equivalent) |
检测结果 | 在FPD表面的数据位置化显示 |
附件: | |
安装 | 无尘室或无尘车间,100级或以上 |
温度 | 23 ±1°C |
电源 | 100 to 230 V AC, 7.5 to 5 A, 50/60 Hz, 单相 |