光掩模(Reticle/Mask)颗粒探测系统 PR-PD5

PR-PD5 Particle detection system

概要

多功能性及紧凑型增强的低成本检测

继续了PD系列的高效性，因其紧凑的设计，PR-PD5具有优秀的成本经济性表现，同时该型号也可以集成于Reticle Stocker/Stepper和清洗机等设备中

非常低的维护及操作成本由于应用了高经济性的He-Ne激光和简化了的检测进给单元与平台单元，维护和操作成本得以降低

免于误检的有效功能PR-PD5具有针对粗糙表面的Pattern的极化区分功能，以及对应良好表面的Pattern的低通区分功能。这两种方式可有效避免在OPC等pattern下的误检。

差异化应用的多功能性对应在Pattern面上的颗粒物，检测精度可达到0.5µm，PR-PD5不仅可检测Reticle和Mask上的颗粒物，同时也能以高输出率检测在Glass和Pellicle面上的颗粒物。

尖端，复合功能性的软件使用Horiba本社的复合功能软件，集合了Pattern Masking，外来颗粒物标识和数据库管理等功能

特征

  • 自动协同补偿功能

  • 3个光电射极传感器可检测Reticle边缘

  • 自动校正Reticle在输入系统上的位置偏离

  • 显示的结果是基于比较自Reticle边缘的坐标

  • Reticle倒置构造

  • 可选择0.5 至 50 µm

  • 单检测系统

  • 内建和混合的型式

  • 应用数据管理功能的多种类报告的输de

制造: HORIBA

規格

PR-PD5

检测目标

已封装或未封装Pellicle的Reticle/Mask

原理

极化激光散射方式

可检测的颗粒物尺寸

Pattern surface: 0.5 µm, Glass surface: 5.0µm,  Pellicle surface: 10.0 µm (* PSL equivalent)

检测结果

在FPD表面的数据位置化显示

附件:

安装

无尘室或无尘车间，100级或以上

温度

23 ±1°C

电源

100 to 230 V AC, 7.5 to 5 A, 50/60 Hz, 单相