SEC-8000 F/D/E 系列

高温数字式质量流量控制器

SEC-8000F/D/E 系列可在 15℃ 至 120℃ 的高温环境下工作,用于半导体和化合物半导体加工在内的各种工作任务。

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事业部: 半导体
产品分类: 流体控制
制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 配备数字设备:高精度 - ±1.0% 设定点
  • 高速响应
  • 超洁净设计
  • 符合 RoHS 标准
光伏制造过程的过程控制与现场测量
光伏制造过程的过程控制与现场测量
气体质量流量控制与测量和对 PM2.5 参考值的测量
气体质量流量控制与测量和对 PM2.5 参考值的测量
用于实验室研究测试气体生成
用于实验室研究测试气体生成

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