液体自动填充系统 LU系列

概要

在提供一整套全面的不同方式的液体气化控制系统来保证气化效率和稳定的蒸汽传输到用户端这一方面，HORIBASTEC在全球处于领先地位。这些方式包括加热，直接注射和混合注射。自动供液系统可以提供不间断，安全和可靠的液体传输，用来增加运行时间和减少操作员手动操作和制程污染的危险。

LU-A1000系列自动供液系统为液体加热系统（LSC系统）和注射系统（MI，MV，VC系列）提供自动的，安全的，无浪费的液体供应。LSC-A1000遵从SEMI S2.S8.S14.CE标识安全标准。为了防止在源罐更换操作中的失误，LU-A1000系列会自动实现残留液体吹扫步骤（作为LU-A1000的标准功能）。LU-A1000的保养效率和供液能力也已经得到改善。

特征

蒸汽压力监视功能（专利所有）：按标准，当要更换源罐时，检查吹扫效率
重量计可以用来监视源罐中残余的液体总量，这是可选的。
紧凑型设计，LU-A1000系列采用综合气体系统，和传统结构相比，减少了体积，并且当维修时部件更换非常方便。
除气计作为标准配置是用来减少液体中气泡的危险的，可以很理想地供应液体给各种气化系统，包括注射和加热形式的应用。
安全标准：SEMI S2/S8/S14, CE标识。
安全改善：多样化的监视设备提供完全的自动控制。LU-A1000系列有一个自动紧急关机的功能，当系统问题发生时将被启动。
可操作性改进：为防止操作失误，操作步骤是全自动的。操作也可以通过设备前端的触摸屏来控制。
安全，有效率并且不间断地自动供液给气化设备。

制造: HORIBA STEC

規格

Model	LU-A1000 series
Liquids supported	TEOS, TMOB, TMOP, TEOP, BTBAS
Supply method	Pressure movement from He gas
Gas supply pressure	For pressure movement: 0.3 to 0.6 MPa (G); For purge: 0.3 to 0.6 MPa (G), OP N₂ 0.6 to 0.7 MPa (G)
Tank	Maximum 5-gallon container can be attached (outside of production range)
Operation	Automatic supply/stop using external signal from supply system
Operation area display details	Pressure error display; When an alarm is triggered: Display hold function (manual reset); Liquid level display; Sequence, etc.
Gas connection	Refer to basic flow
Power source	AC 100 to 240 V, 50/60 Hz, 300 VA
Electricity connection	AC 100 to 240 V breaker connection, signal receptacle
External dimensions	See external dimensions diagram

* Please make decisions regarding the specifications above after meeting with STEC.

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