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1
领先技术
日本制造*
2
全球业务网点
*1 仅对质量流量控制器和化学药液浓度计产品。本公司内部调查,2016年。
*2 主要产品在日本生产。
主要应用
半导体工艺制程
光伏工艺制程
FPD制造工艺
干法镀膜
产品线
气体质量流量控制器
压力控制器
液体源汽化系统
等离子浓度喷射装置
真空/气体浓度计
自动注入系统
化学药液浓度计
在线pH计
超纯水监测仪
光掩模异物检测系统
等离子体工艺监控仪
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