碳质探头传感器(高浓度型) HE-960HC

概要

适用于半导体和FPD生产制程中化学药液和废液的管理HE-960HC测量电导率可作为基于化学药液和废水管理的参数。其对偶电路和软件与4-极式炭质传感器相结合测量范围可达0至1000mS/cm而无需切换。由于具有两种浓度转换功能,所以可将其作为过程浓度计使用,也可监测特定化学药液中的浓度变化。

特征

  • 大量程适用

最高可测量至1000 mS/cm(温度补偿前的电导率量程)

  • 自动显示范围切换

从高至低浓度显示范围自动切换。当维持有效的电导率分辨率是也可使用该产监测变化。

  • 具有各种温度补偿

由于可自由设定标准温度和温度补偿 ,温度补偿可被应用于对应液体。

  • 浓度转换功能

输入温度系数和浓度与电导率的关系,可进行两种浓度转换。

  • 通讯功能 (RS-485) 为标准配置

可远程控制主机,例如:变更设定或检查测量值

  • 耐药性4-极炭质传感器

采用了新型的使用高耐药性玻璃碳材料的FES-510系列4-极式流通型传感器。可测量使用于半导体清洗和其它制程中多种化学药液的大范围电导率。

HE-960HC为无铅焊接的环境友好型产品。 


制造: HORIBA Advanced Techno

規格

型号

 

 

 

HE-960HC

 

 

 

测量方式

 

 

 

4-极式

 

 

 

传感器输入

 

 

 

1-通道

 

 

 

温度传感器规格

 

 

 

铂电阻 1000Ω/0ºC

 

 

 

测量范围

 

 

 

测量常数

 

 

 

1/cm (也可设定0.1/cm 10/cm)

 

 

 

电导率

 

 

 

0 1000 mS/cm (无温度补偿的测量范围)

 

 

 

温度

 

 

 

-20 150ºC

 

 

 

浓度转换

 

 

 

Custom1: 0 100%, Custom2: 0 100% (用户指定转换公式)

 

 

 

重复性


 

 

 

020.00 mS/cm

 

 

 

±0.5%全量程以内

 

 

 

(等价输入)

 

 

 

20.0200.0 mS/cm

 

 

 

2001000 mS/cm

 

 

 

±1.0%全量程以内

 

 

 

0.0100.0ºC

 

 

 

±0.2ºC以内

 

 

 

直线型

 

 

 

020.00 mS/cm

 

 

 

±0.5%全量程以内

 

 

 

(等价输入)

 

 

 

20.0200.0 mS/cm

 

 

 

2001000 mS/cm

 

 

 

±1.0%全量程以内

 

 

 

0.0100.0ºC

 

 

 

±0.5ºC以内

 

 

 

传送输出

 

 

 

输出点数: 4
4
20 mA DC 020 mA DC: I/O 绝缘型
最大负载电阻: 900Ω
传送输出范围:可在量程内任意设定
(
每一个传送输出通道的负端都被内部连接从而具有相同的电势。)

 

 

 

接点输出

 

 

 

输出点数: 5
报警接点输出: R1, R2, R3 R4
接点类型: 继电器接点, SPST
接点容量: 240 V AC, 1A 30 V DC, 1A (电阻负载)
接点功能:/下限操作 (ON/OFF 控制), 延迟操作
接点动作:

 

  • 控制动作中关闭(错误设定时)

  • 正常状态中打开(包括电源关闭)
    (R1
    R2, R3 分别通用)

错误报警输出 (RF)
接点类型: 继电器接点, SPDT
接点容量: 240 V AC, 1A30 V DC, 1A (电阻负载)
接点功能:错误,异常警报和维护
接点动作:

 

  • CNO连接,状态正常时关闭,检测到错误时打开(包括电源关闭)(当CNO连接时,触点状态相反)

(R4 RF通用)

 

 

 

 

 

 

 

接点输入

 

 

 

输入点数: 1
接点状态: 打开集电器无电压接点 a
接点功能: 传送输出保持

 

 

 

通讯输出

 

 

 

RS-485输入/输出

 

 

 

校正功能

 

 

 

电导率:基于测量常数(参数输入)的特定补偿系数
温度:与参考温度计作比较进行校正

 

 

 

传送输出保持功能

 

 

 

可从前值保持和任意值保持中选择(但是,在维护模式中仅前值保持可用)

 

 

 

自诊断功能

 

 

 

  • 传感器诊断 (温度传感器的短路和断路)

  • 转换器错误

电导率温度补偿

 

 

 

  • 可选温度补偿系数(参考温度:25ºC;
    温度系数: 0 3%/ºC)

温度补偿范围

 

 

 

0 100ºC (0ºC以下或100ºC以上,将作相应的计算)

 

 

 

周围环境

 

 

 

温度: -545ºC, 相对湿度: 2085% (无浓缩)

 

 

 

电源

 

 

 

100 240 V AC±10%, 50/60Hz, 20 VA (最大)

 

 

 

保护结构

 

 

 

面板: IP65, 后盖: IP20, 终端: IP00 (室内面板安装型)

 

 

 

质量

 

 

 

550g

 

 

 

适用规格

 

 

 

CE marking, FCC Part 15

 

 

 

兼容传感器

 

 

 

FES-510 系列 (4-极式炭质流通型电导率传感器)

 

 

 

 

4-极式炭质流通型电导率传感器

型号

 

 

 

FES-510-1/4

 

 

 

FES-510-3/8

 

 

 

FES-510-1/2

 

 

 

FES-510-3/4

 

 

 

FES-510-1

 

 

 

触液端材质

 

 

 

玻璃碳 (电极), PFA (主体), Kalrez® (密封件)

 

 

 

配管尺寸

 

 

 

1/4 英寸

 

 

 

3/8英寸

 

 

 

1/2英寸

 

 

 

3/4英寸

 

 

 

1英寸

 

 

 

样品流量

 

 

 

02 L/min

 

 

 

08 L/min

 

 

 

0 10 L/min

 

 

 

015 L/min

 

 

 

025 L/min

 

 

 

样品压力范围

 

 

 

00.5 MP (550ºC), 00.1 MP (100ºC以上)
50
100ºC, 压力范围在0.5 MPa 0.1 MP之间的连接线

 

 

 

样品温度

 

 

 

5100ºC (水溶液的沸点为 100ºC)

 

 

 

电缆长度

 

 

 

10 m (标准)

 

 

 

注:规格细节将会根据转换器和传感器的不同组合而有所不同。本规格适用于4-极式炭质电导率传感器组合。

产品相关图及其它

Dimensions of HE-960HC

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